飞思卡尔(Freescale)半导体建成微机电系统(MEMS)200-mm(8-inch)生产线来满足不断增长的传感器市场需求。这套新生产线是在飞思卡尔设在德克萨斯州奥斯汀的OakHillFab建成的，是对公司在日本仙台的现有150-mm(6-inch)MEMS生产线的补充。

　　随着MEMS传感器市场的持续增长，大批量MEMS生产技术仍显得至关重要。飞思卡尔在生产基于MEMS的传感器方面已有25年以上的历史，是大批量传感器提供商，可提供全面的加速、压力和接近传感器。借助可实现全面的传感、控制、连接和模拟解决方案的广泛产品系列，公司可提供嵌入式控制功能。

　　飞思卡尔副总裁兼传感器和制动器解决方案事业部总经理DemetreKondylis表示：“客户日益要求低成本、强韧、功能强大而且体积更小巧的传感器。在这种情况下，飞思卡尔新建成的200-mmMEMS生产线无疑将帮助公司充分利用对价格敏感的汽车、工业、医学和消费市场上迅速增加的应用商机。”

　　通过深入探索并利用硅元件独特的电气和机械特性，MEMS技术正在从根本上改变半导体行业。基于MEMS的传感器最初被广泛应用于汽车安全气囊、引擎管理和血压监测，而现在已普及到手机、游戏、医学、家电、计算、稳定性控制、轮胎气压检测系统和多种其它应用。各种各样的应用表明，基于MEMS的传感器是一种连接物理世界的通用接口，正在使电子产品变得更安全而且能效更高，同时实现新业务。

　　MEMS市场分析领域的YoleDeveloppement研究公司的Jean-ChristopheEloy表示：“在很多领域，消费应用已真正开始推动MEMS业务的发展，如压力传感器和加速计等。2006年，全球MEMS市场的交易额达到了近60亿美元，而且正在以14%的综合年增长率迅速增长。我们预计到2010年，MEMS市场交易额将达到97亿美元。这会带来一个重大变化，以至于全球各地的半导体公司都将MEMS应用看作一个具有很大发展潜力的领域。”

　　先进的200-mm生产线将使飞思卡尔可以探索并集成新的MEMS功能，轻松应对严峻的竞争挑战，如在功耗、经济高效性和产品体积方面。基于MEMS的传感器是20世纪70年代面世的，现在仍处于产品生命周期的早期阶段。飞思卡尔在继续努力设计并生产更先进而且高度集成的压阻和电容传感器。MEMS传感器可在固件和软件中实现信号调节、连接、嵌入式控制和其它创新功能。

出处：中华机械网